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SiO2微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液： MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。 這些粒徑標(biāo)準(zhǔn)目前提供的標(biāo)稱(chēng)尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測(cè)系統(tǒng)生產(chǎn)高質(zhì)量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。

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晶圓表面用納米級(jí)別二氧化硅微粒子標(biāo)液：

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