新品晶圓表面用二氧化硅SiO2標準粒子的介紹

產品名稱：

SiO2微粒子標準溶液

納米級別二氧化硅

SiO2標準粒子

晶圓表面用二氧化硅

納米二氧化硅™尺寸標準

MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。

這些粒徑標準目前提供的標稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測系統(tǒng)生產高質量校準標準。

雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統(tǒng)為表面缺陷校準標準的生產提供了結果，但較舊的 MSP 系統(tǒng)和其他制造商的系統(tǒng)也適用于納米二氧化硅尺寸標準。

特征

+ 極其均勻的尺寸分布

我們的納米二氧化硅尺寸標準采用獲得**的 SiO2合成工藝開發(fā)，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。

+ 使用 SI 可追溯性測量的峰直徑

允許產量提高和計量小組根據(jù) ISO 9000 標準和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的可追溯性。

+ 受到強烈 DUV 輻射時穩(wěn)定

MSP 的 SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時不會降解，這與 PSL 球體不同，PSL 球體的尺寸會減小。

+ 易于使用

NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應用中混合具有適當數(shù)量濃度的懸浮液時使用方便。

+ 高粒子濃度

一些應用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(yè)內最高的之一。

+ 輕松辨別模態(tài)（峰值）直徑

+ 避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導致的差異

+ 制備適用于效率相對較高或較低的氣溶膠產生裝置的稀釋懸浮液

+ 為***的檢測工具創(chuàng)建持久的校準標準

+ 消耗更少的材料；存錢

+ 隨附校準和可追溯性證書以及帶有處理和處置說明的安全數(shù)據(jù)表 (SDS)

1給定目錄號的認證直徑將在規(guī)定范圍內提供。

2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態(tài)直徑。

規(guī)格

NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇，是市面上***、高質量的校正標準，適用于最新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。

***的半導體檢查技術已經發(fā)展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正，但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當UV光重復打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)定的質量，因此SiO2微粒子是不錯的替代產品。

NanoSilica™ 微粒子標準溶液是使用有**的SiO2合成技術，可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前最小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標準溶液是尺寸最均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產品，加上ISO 9000與SEMI的認證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據(jù)。

NanoSilica™ 微粒子標準溶液使用15-mL滴定，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標皆標示產品編號、生產編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。

產品優(yōu)勢
•尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)定的質量
•高濃縮度微粒子懸浮溶液

產品效益
•易于微粒子撒粒系統(tǒng)、晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
•可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
•適合氣膠產生設備使用
•提供耐久校正標準給先進的檢測設備使用
•省錢而且耗用量少